ガス導入タイプ:YHS-GZA250


様々なガス導入が可能な真空プラズマ装置。

ガス流量調整・パワー調整・真空度モニター緻密な処理条件の設定が可能です。

ワンタッチの簡易な操作性、導入しやすい安価な価格帯で提供致します。

表面処理 薄膜形成前の処理 陽極接合前の処理 塗装前の処理 その他 バイオ・医療分野にも

 

製品の特徴
     
イメージ
各種ガスを導入
Ar,He, N, O など
■圧力計搭載
チャンバー内の圧力を確認しながら処理がおこなえます。■ガス流量計
流量を調整しチャンバー内の圧力をコントロールできます。■ステージサイズφ250
少し大きなサンプルも処理する事が出来ます。

■制御電源
電力量の調整でプラズマの生成量を調整可能。

オプション対応
 ■ガス導入

■ステージサイズ

■RFタイプ

※オプション料金にて承ります。詳しくはお問合せ願います。

 

仕様
品名 YHS-R
外形寸法 (mm) 380(W)×434(D)×446(H)
ステージ寸法 (mm)  φ250mm
power  600w
上下部電極材 ステンレス 
許容温度範囲  -10℃~+60℃ 
ユーティリティ 100V、50/60Hz、5.0A 

上記以外の仕様も対応いたします。お気軽にお申し付けください。