ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能です!

表面改質:大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成!
ワイヤーボンディング:強度の向上に最適です!
その他:バイオ・医療分野にも

 
製品の特徴
   
   ■熱によるダメージは殆んどありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。
(条件によってはサンプル表面を40℃程度に。)
■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。■推奨ガスは窒素のみ。
■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。

■ラボ用装置としてもご利用頂けます。

■微細な表面処理に特化

■メンテナンスも容易です。

  

設定台と組み合わせ
 
 
写真はペン型設置台
【ペン型架台】
トーチを設置台に取り付ける作業が可能
■サイズ
高さ600mm×アーム長さ200mm■重量
2kg■価格
¥8,800-(税別)
 
用途
  ■ワイヤーボンディングの前処理
LSIにダメージを与えることなく、電極の表面を洗浄しボンディング性能を向上
■ガラス基板洗浄
光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄■金属薄膜への処理
絶縁体上の金属薄膜へもダメージ無く親水化(コロナ放電では不可能)
 
ペン先からプラズマ照射
仕様
品名 P500-SM 
 プラズマペン  
 材質(本体) 樹脂、石英、金属(場合によってことなります) 
耐圧(Mpa) 0.39
 重量 (g) 約700
外形寸法 (突起部含まず) (mm)  約φ28×約130
コントロール部  
重量 (Kg)  約3
寸法 (mm) 160(W)×245(D)×110(H) 
機能   オプションにてタイマー・流量計等を対応 
取り扱い注意  
許容温度範囲    -10℃~+60℃
使用禁止薬液   有機溶媒 強塩基類 強酸類 強酸化材
 使用ガス  窒素(アルゴン、空気)
(用途によって仕様がことなります) 

上記以外の仕様も対応いたします。お気軽にお申し付けください。

関連資料

【技術資料】
ペン型大気圧プラズマ装置のガス種及び照射距離依存性