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プラズマ技術で未来を切り拓く  

   株式会社魁半導体 
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採用情報
 
ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM
 
絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能です!

表面改質:大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成!
ワイヤーボンディング:強度の向上に最適です!
その他:バイオ・医療分野にも
 
製品の特徴
   
 
■熱によるダメージは殆んどありません。
   →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。
  (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。)

■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
    →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。

■窒素のみをプラズマ化。
  ArやHeなどの高価なガスは必要としません。

■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。

■ラボ用装置としてもご利用頂けます。

■微細な表面処理に特化

■メンテナンスも容易です。
  
 
設定台と組み合わせ
 
 
写真はペン型設置台
【ペン型架台】
 トーチを設置台に取り付ける作業が可能               

■サイズ
 高さ600mm×アーム長さ200mm

■重量
 2kg

■価格     
 ¥8,800-(税別)
 
用途
  ■ワイヤーボンディングの前処理
  LSIにダメージを与えることなく、電極の表面を洗浄しボンディング性能を向上

  ■ガラス基板洗浄
  光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄

  ■金属薄膜への処理
  絶縁体上の金属薄膜へもダメージ無く親水化(コロナ放電では不可能) 
 
ペン先からプラズマ照射
 
仕様
品名 P500-SM 
 プラズマペン  
 材質(本体) 樹脂、石英、金属(場合によってことなります) 
耐圧(Mpa) 0.39
 重量 (g) 約700
外形寸法 (突起部含まず) (mm)  約φ28×約130
コントロール部  
重量 (Kg)  約3
寸法 (mm) 160(W)×245(D)×110(H) 
機能   オプションにてタイマー・流量計等を対応 
取り扱い注意  
許容温度範囲    -10℃~+60℃
使用禁止薬液   有機溶媒 強塩基類 強酸類 強酸化材
 使用ガス  窒素(アルゴン、空気)
(用途によって仕様がことなります) 

上記以外の仕様も対応いたします。お気軽にお申し付けください。  
 
処理動画
 
  
     
 
 
 
関連資料
 
【技術資料】
ペン型大気圧プラズマ装置のガス種及び照射距離依存性
 
 
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