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プラズマ技術で未来を切り拓く  

   株式会社魁半導体 
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大気圧プラズマS5000-BM
 
絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能です!

表面改質:大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成!
ワイヤーボンディング:強度の向上に最適です!
その他:バイオ・医療分野にも
 
製品の特徴
 
   
■熱によるダメージは殆んどありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。
(条件によってはサンプル表面を40℃程度に。)

■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。

■窒素のみをプラズマ化。
ArやHeなどの高価なガスは必要としません。

■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。

■大面積処理へも改良可能です。

■メンテナンスも容易です。 
    
ロボットとの組み合わせ
 
  例:トーチをロボット先端へ接続
  1軸ロボットやX-Yステージも対応致します。
 
用途 
 
■ワイヤーボンディングの前処理(実績あり) 型式S5000-BM
LSIにダメージを与えることなく、電極の表面を洗浄しボンディング性能を向上。

■ガラス基板洗浄(実績あり) 型式S5000
光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄。

■金属薄膜への処理
絶縁体上の金属薄膜へもダメージ無く親水化。(コロナ放電では不可能)
 
 
仕様
 
 
       
 品名  S5000-BM
プラズマガン 
材質(本体) テフロン、石英、金属(場合によって異なります)  
耐圧(Pma) 0.39 
重量 (Kg) 約1
外形寸法 (突起部含まず) (mm) 60×20×約100  
コントロール部   
重量 (Kg) 約12 
寸法 (mm) 320(W)×430(D)×177(H) 
機能  出力調整  ・ 放電タイマー ・ リセットスイッチ 
取り扱い注意    
許容温度範囲  -10℃~+60℃ 
使用禁止薬液  有機溶媒 強塩基類 強酸類 強酸化材 
使用ガス  窒素(アルゴン、空気)
(用途によって仕様がことなります) 
      上記以外の仕様も対応いたします。お気軽にお申し付けください。 
     
 
処理動画
 
     
 
 
           
       
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