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プラズマ技術で未来を切り拓く  

   株式会社魁半導体 
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スリットタイプSKIp-SLIt
 
多点バリア放電方式を採用した唯一の製品

スリットタイプ幅広100mmの大気圧プラズマ装置

パワー調整やガス流量調整機構が付き。緻密な処理が実現
 
製品の特徴
  
■電源を内蔵したコントロール部が省スペースであるため、容易にインラインに搭載可能

■処理対象物にダメージを与えません。

■優れたコストパフォーマンス     
    
オプション 
 
 ■供給ガス系の複数化

 ■1軸ロボット X-Yロボット R to R

 ■タッチパネル制御

 ■コーター(スプレー・ディップ・スリット)、および、乾燥工程の追加
   

   その他のご要望にもお応え致します。
 
仕様
 
 品名 SKIp-SLIt 
スリットサイズ   ~100mm 
プロセス圧力 大気圧 
POWER 0~175W 
推奨ガス アルゴン
※他のガスでも放電はします。
ガス流量 最大100L/min 
ガス流量制御機構 浮子式orMFC 
電源 AC100V ・ 50/60Hz 
 
 
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