プラズマの持つ高い反応性を応用することで得られる「表面改質」と「洗浄効果」の原理を紹介します。

プラズマによる表面改質の原理

基板(ステンレス・ガラス・PP・アルミ・シリコンなど)をプラズマ照射すると、
プラズマの電離された分子(OH基など)が表面に修飾され、水のぬれ性が劇的に向上します。

主な用途
塗料の濡れ性向上

大気圧プラズマ

基板に付着した有機物は、プラズマ照射することによってプラズマ中の活性な分子と反応し気化します。
これによって洗浄剤なしで有機物の除去が可能になります。

主な用途
有機ELチャンバー側壁に付着した有機物の除去
電極表面の洗浄
ボンディング性能向上 など