- 真空
- 高周波電源
- プロセスガス導入可能
- 塗装・メッキ
- 接着・密着
- 培養・歯科医療
- 洗浄・殺菌
- エッチング
- 薄膜形成
- 撥水
- プラズマ耐久性のテスト
- 撥油・防汚(技術確立中)
- 親油(技術確立中)
- 実験用
- 生産用
プラズマエッチャー CPEシリーズ
SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。
製品概要
■コンパクト
■簡単な操作性
■タッチパネル操作(オート、マニュアル)
■高精度で無機物のエッチングが可能
仕様
装置名称 プラズマエッチャー
型式 CPE-200A
外形寸法 510mm(W)×760mm(D)×1090mm(H)
放電部寸法 直径200mm(円形)
重量
出力調整 あり
ガス系統 １系統(２系統はオプション)
ガス制御方法 マスフローコントローラー
圧力調整 バルブ
電源 電源 AC100V,15A(50Hz/60Hz)