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“誘電体バリア放電装置スリットタイプ SKIp-SLIt (京都大学 酒井先生の技術)”

多点バリア放電方式を採用した唯一の製品。スリットタイプ幅広100mmの大気圧プラズマ装置。パワー調整やガス流量調整機構が付き。緻密な処理が実現。

製品の特徴

■電源を内蔵したコントロール部が省スペースであるため、容易にインラインに搭載可能
■処理対象物にダメージを与えません。
■優れたコストパフォーマンス

オプション

■供給ガス系の複数化
■1軸ロボット X-Yロボット R to R
■タッチパネル制御
■コーター(スプレー・ディップ・スリット)、および、乾燥工程の追加

その他のご要望にもお応え致します。

仕様

品名:SKIp-SLIt
スリットサイズ:~100mm
プロセス圧力:大気圧
推奨ガス:アルゴン
※他のガスでも放電はします。
ガス流量:最大100L/min
ガス流量制御機構:浮子式orMFC
電源:AC100V ・ 50/60Hz