- 大気圧(リモート)
- 実験用
- 特殊形状への処理(フィルム状、粉粒体、チューブ、立体物等）
“誘電体バリア放電装置面状タイプ SKIp-CBL300 (京都大学 酒井先生の技術)
300mm四方への均一処理を実現します。熱によるダメージは殆んどありません。コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。あらゆるガスをプラズマ化。ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。
製品概要
■300mm四方への均一処理を実現します。
→面状にプラズマを生成するので、バッチ処理を可能とします。
■熱によるダメージは殆んどありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。
■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。
■あらゆるガスをプラズマ化。
ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。
オプション
■供給ガス系の複数化■1軸ロボット X-Yロボット R to R■タッチパネル制御■コーター(スプレー・ディップ・スリット)、および、乾燥工程の追加その他のご要望にもお応え致します。
仕様
品名：SKIp-CBL300
電極プロセス：～□300mm
プロセス圧力：大気圧
推奨ガス：アルゴン
※他のガスでも放電はします。
ガス流量計：最大1000L/min
ガス流量制御機構：浮子式orMFC
電源：AC200V