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プラズマ技術で未来を切り拓く  

   株式会社魁半導体 
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技術資料
 
プラズマ処理についての技術資料です。

◇XPSによる評価結果

◇XPSから求めた結合状態

◇プラズマの色

◇プラズマ処理後の接触角の経時変化


◇接触角のプラズマ処理時間依存性

◇ペン型大気圧プラズマ装置のガス種及び照射距離依存性

◇効率が良く、膜厚が薄く、塗膜が均一な塗装質

◇シャーレーへの処理効果

◇プラズマ粉体の還元処理


 
XPSによる評価結果
  
プラズマ処理前後の表面組成についての資料です。
 
赤色:未処理  青色:真空プラズマ  水色:大気圧プラズマ

【処理条件】
 ・使用装置:S5000(大気圧プラズマ)/YHS-R(卓上真空プラズマ)
 ・処理条件:S5000は窒素 YHS-Rは残留空気
 ・処理サンプル:ポリカーボネート

【評価結果】
 ・大気圧プラズマ/真空プラズマ共に、炭素の量が減少する。
 ・大気圧プラズマ/真空プラズマ共に、酸素の量が増える。
 ・窒素を用いる大気圧プラズマは、表面が窒化する。
    
XPSから求めた結合状態
 
プラズマ処理前後の表面の炭素原子の結合状態についての資料です。
 
 
プラズマ処理する事により、未処理にはほとんど存在しなかったC=O結合、COOH結合が確認できた。大気プラズマ処理を行うとCOOH結合の増加が確認できた。
未処理の試料では確認できなかった窒素は、真空プラズマ処理では元素組成比で0.6%、大気圧プラズマ処理では元素組成比で5.4%存在していた。
C-1sの波形分離処理結果からは炭素と窒素が結合している傾向が確認できた。
 
プラズマの色
 
プラズマ中に存在する励起された原子や分子が励起状態から通常の状態に戻るときに光を放出します。
このプラズマが発する光の色および明るさはガス種、圧力、パワーなどに依存します。
これらの組合せを変えることで、プラズマ中に生じるイオンやラジカルの種類、密度などをコントロールし、
試料表面の洗浄、親疎水制御、接着性強化、生体適合性制御など様々な表面改質が可能です。
 
 ・空気プラズマの色   ・窒素プラズマの色
 
    
 
 ・アルゴンプラズマの色  ・酸素プラズマの色
   
 
 
 ・二酸化炭素プラズマの色  ・ヘリウムプラズマの色
    
 
  ・アンモニアプラズマの色
   
 
【処理条件】
・使用装置:RIE-400
 
 
プラズマ処理後の接触角の経時変化
 
プラズマの処理効果は時間とともに薄れます。処理後の時間経過による接触角変化を記録しました。
 
 
 
【処理条件】
・使用装置:大気圧プラズマ  
・処理サンプル:カバーガラス

時間が経つにつれて処理効果が薄れて接触角が高くなっていることが、グラフから読み取れます。
 
 
接触角のプラズマ処理時間依存性
 
プラズマの処理効果は処理時間に依存します。
◇技術資料:接触角のプラズマ処理時間依存性
 
 
ペン型大気圧プラズマ装置のガス種及び照射距離依存性
 
ペン型プラズマ装置を用いてガス種および照射距離による効果の違いを測定しました。
◇技術資料:ペン型大気圧プラズマ装置のガス種及び照射距離に関する実験
【処理条件】
◇使用装置:ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM  
 
 
 
 
 
 
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