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プラズマ技術で未来を切り拓く  

   株式会社魁半導体 
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プラズマとは?
 
プラズマとは何かを簡単にご説明します。
 
プラズマは物質の第4の状態
 
電子が軌道から飛び出した状態(電離)のことを指す。

電子が抜けた分子(原子)は不安定であるため、他の電子を取り込むなどして安定な状態になろうとする。
               
  プラズマとは【反応性が高い】物質の状態!
    
物質の状態模式図
 
     
個体  液体 気体  プラズマ 
 (氷)  (水)  (水蒸気) (水素プラズマ)
(酸素プラズマ) 
 
個体
 分子ががっちりスクラムを組んでいる状態。固体は安定で、定まった形と体積を持つ。
液体
 くっ付いたり離れたりしている流動的な状態。分子間力は残ったままであるが、
 分子は互いに影響しあったまま動くのに十分なエネルギーを持つ。
気体
 原子・分子が自由に飛び回っている状態。分子はそれぞれ遠く離れて高速で移動している。
プラズマ
 原子の束縛を受けない自由電子が発生する。自由電子のために導電性が高まり、強い電磁場を持つようになる。
 
【非常に反応性が高くなっている状態】
 反応性の高いプラズマ状態の分子・原子は、通常状態では得られない特異な化学反応を起こします。
 表面改質や有機物の除去、エッチング、薄膜形成などは、この現象を利用したプロセスです。

 プラズマ処理による効果については「表面改質・洗浄の原理」のページで紹介しています。
 
 
 
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