回転式卓上真空プラズマ装置YHS-DφS

樹脂や硝子・金属等の表面改質や洗浄を行うプラズマ装置を小型化しました。卓上サイズです。
表面改質・洗浄・親水処理に高い処理効果
回転式チャンバーにより、表裏を一括処理
乾式環境で粉体の表面処理が可能
チャンバー内に回転可能な筒状の電極を配備
筒状電極と対向する中心部の電極に高周波を印加し放電
処理ワークは回転チャンバー内で転がり、表裏一括に処理が可能となる。
樹脂成型品の洗浄・接着前処理MEMSの洗浄等・乾式環境での粉体表面処理などに
粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元
装置名称 回転式卓上真空プラズマ装置
型式 YHS-DφS
外形寸法 720mm(W)×450mm(D)×450mm(H)
重量 40kg
回転部 φ210×200mm(D)
電源出力 170W
出力調整
ガス系統 1系統(2系統はオプション)
ガス制御方法 バルブ(マスフローコントローラーはオプション)
圧力調整 オプション
電源 100V,15A(50Hz/60Hz)