大容量真空プラズマ装置YHS-MS

■400×400mmの大容量チャンバ
■独立平行平板(0〜10段/差替可)
■一括バッチ処理が可能
■タッチパネル制御で操作が簡単
■均一性が高く、ムラが少ない処理が可能
■酸素・アルゴン・窒素などの様々なガス導入が可能
■圧力調整・パワー調整・オートリーク
PP/PCなどの樹脂成形型の接着強化
ウエハーの洗浄・接着強化
電線チューブなどのコーティング力を強化
有機物の除去
装置名称 大容量真空プラズマ装置
型式 YHS-MS
外形寸法 760mm(W)×600mm(D)×610mm(H)
電極(棚) 400×400mm ステージ部φ250mm
重量 120kg
電源出力 最大300W
出力調整 あり
ガス系統 1系統(2系統はオプション)
ガス制御方法 マスフローコントローラー
圧力調整 オート
電源 AC100V,30A(50Hz/60Hz)