Commercialisation réussie d’une nouvelle technologie de traitement par plasma des fluoropolymères solides !

7 avril 2020.

A tous les membres de la presse

Utilisation des gaz générés par les solides.
Une nouvelle technologie plasma avec fluoropolymère est mise en pratique.
Réduction de l’impact sur l’environnement et de la gestion sur site

(Shimogyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto ; président : Koshi Taguchi), qui développe et vend des équipements à plasma, a réussi à commercialiser une nouvelle technologie de traitement au plasma utilisant de la fluororésine solide au lieu du gaz PFC (un type de gaz CFC). Étant donné qu’il est possible d’obtenir le même effet de traitement sans utiliser de gaz à effet de serre, l’entreprise travaillera au développement de produits plasma utilisant cette technologie et invitera également à la recherche et au développement conjoints de la même technologie.

■Nouvelles idées pour la gazéification des solides
Dans la technologie qui a été mise en pratique avec succès, la résine fluorée solide PTFE (Teflon, etc.) est préparée à la place du gaz PFC, et la résine est d’abord irradiée avec un plasma facile à manipuler tel que l’argon ou l’azote, qui génère un gaz contenant du fluor. Le gaz généré est ensuite utilisé pour le traitement au plasma.

■Pas d’émissions de gaz à effet de serre et manipulation aisée
Le traitement par plasma utilise des gaz adaptés au matériau à traiter, car l’effet dépend du type de gaz utilisé. Par exemple, les procédés de traitement par plasma utilisant des gaz PFC sont utilisés dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs, tels que la gravure à sec du silicium, la formation de couches minces et le nettoyage.
Les gaz PFC sont de puissants gaz à effet de serre et nécessitent une manipulation lourde sur le site.
L’utilisation d’un fluoropolymère solide au lieu d’un gaz réduit l’impact sur l’environnement ainsi que la charge sur le site où le système plasma est utilisé, car il est facile à transporter et à gérer.

À l’avenir, l’entreprise envisagera de développer des produits qui utilisent cette technologie et invitera en même temps à la recherche et au développement conjoints dans un large éventail de domaines qui utilisent cette technologie, dans le but de promouvoir la technologie du plasma dans divers domaines.

技術の詳細については資料・動画でもご紹介しています。
・資料）https://sakigakes.co.jp/wp-content/uploads/2020/04/20200324-PTFE.pdf
・説明動画）https://youtu.be/sTbc3LrcwYc