Le système de plasma sous vide “CPE-200AHM avec mécanisme de chauffage par gravure au plasma” a été lancé le 2 septembre.
Équipé d’un mécanisme de chauffage, il double l’effet du traitement.
Graveur plasma avec mécanisme de chauffage CPE-200AHM
Lancement le 2 septembre 2021.
(Shimogyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto ; président : Koshi Taguchi), qui développe et vend des systèmes plasma, a mis au point le CPE-200AHM avec mécanisme de chauffage pour gravure au plasma,
le premier système plasma sous vide de l’entreprise équipé d’un mécanisme de chauffage, qui sera mis en vente le 2 septembre 2021.
En chauffant le matériau de base et en l’irradiant avec du plasma, le CPE-200AHM permet d’obtenir un effet de traitement élevé, environ deux fois supérieur à celui des systèmes conventionnels.
■Équipé de notre premier mécanisme de chauffage.
La machine à plasma sous vide CPE-200AHM avec mécanisme de chauffage par gravure au plasma est un produit développé avec un mécanisme qui chauffe la platine sur laquelle le matériau de base est installé à une température maximale de 400°C.
Le traitement au plasma est une technologie de nettoyage et de modification de la surface par irradiation du matériau de base avec une énergie élevée.
Une étude de marché a conduit à ce nouveau développement en réponse au nombre croissant de demandes de traitement sous contrat émanant de notre société.
Il sera développé en tant que nouveau produit de la série “CPE-AHM” sur la base d’un plateau de 200 mm de diamètre.
Parmi les exemples d’applications, citons l’amélioration de l’efficacité de l’élimination des résistances dans les processus de fabrication des semi-conducteurs
et la réduction significative du temps nécessaire aux essais d’évaluation de la durabilité du plasma sur les joints toriques et d’autres matériaux.
■Aperçu du produit
[Nom] Avec mécanisme de chauffage par gravure au plasma CPE–200AHM
(Photo de droite : extérieur.)
[la date d’émission] 2 septembre 2021.
[dossier spécial] ・Réduction significative de la durée du traitement plasmatique
・sur mesure
[utiliser] Essais de durabilité de la gravure et du plasma.
[Prix] Taille de la scèneφ200:16 millions JPY (hors taxes)
(※1)Nos expériences comparatives : résultats des expériences de cendres
Expériences utilisant des surfaces de lames de verre peintes avec un stylo à base d’huile comme matériau de base.
Le nouveau CPE-200AHM a été utilisé et la platine a été chauffée à 300°C à l’avance et sans chauffage.
Le revêtement a été enlevé par irradiation au plasma et pesé à intervalles réguliers.
[Résultat.] La quantité d’élimination (changement de poids) après 30 s d’irradiation est approximativement doublée en chauffant à 300 °C.
(La variation de poids est saturée à environ 2,5 mg parce que le revêtement a été enlevé et le substrat exposé.)
▶Document PDF:https://sakigakes.co.jp/cms/wp-content/uploads/2021/09/20210902NewsRelease_CPE-200AHM.pdf
▶Système de plasma sous vide “avec mécanisme de chauffage par gravure au plasma” page produit:https://sakigakes.co.jp/products/cpe-200ahm/
▶Contactez nous.:https://sakigakes.co.jp/inquiry/