プラズマの概要
プラズマは物質の第4の状態
電子が軌道から飛び出した状態(電離)のことを指す。電子が抜けた分子(原子)は不安定であるため、他の電子を取り込むなどして安定な状態になろうとする。
プラズマとは【反応性が高い】物質の状態！プラズマが持つ反応の高さを利用して、表面改質や洗浄など、様々な技術に転用される。
物質の状態模式図
プラズマ
プラズマ
【非常に反応性が高くなっている状態】
反応性の高いプラズマ状態の分子・原子は、通常状態では得られない特異な化学反応を起こします。表面改質や有機物の除去、エッチング、薄膜形成などは、この現象を利用したプロセスです。
プラズマ処理による効果については「表面改質・洗浄の原理」のページで紹介しています。
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個体（氷）
分子ががっちりスクラムを組んでいる状態。固体は安定で、定まった形と体積を持つ。
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液体（水）
くっ付いたり離れたりしている流動的な状態。分子間力は残ったままであるが、分子は互いに影響しあったまま動くのに十分なエネルギーを持つ。
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気体（水蒸気）
原子・分子が自由に飛び回っている状態。分子はそれぞれ遠く離れて高速で移動している。