実験用

業界初の注射針専用プラズマ装置「TSM-90」を開発しました。

プラズマ処理によって表面活性と、汚れの除去を
実現し針と支持部の接着強度を高めます。

医療分野での多くの実績を活かし環境に優しいドライプロセスで、
信頼性の高い製品を提供します。

業界初、高機能プラズマ専用電源

業界初、液体原料から直接成膜する安全なプラズマ CVD。

SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。

PC上からの簡単操作。ステッピングモーター駆動による高精度粉体供給。通信機能付きの電子天秤（オプション）と連携させることで、より高精度の供給が可能。卓上型、コンパクト。

供給量はタッチパネル制御で、使いやすいインターフェース。大気圧液面プラズマ装置と組合わせて連続処理。

均一性の高い薄膜(数μmのオーダーが可能)。高温・真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布。マスク板を汚さないので手入れが簡便。

液中に基材を浸漬し、引き上げることで薄膜を形成するコーティング手法。基材引き上げ時の速度によって膜厚の制御が可能。任意の引き上げ速度で膜厚制御可能。凹凸のある基材でも塗布可能。専用の容器等が不要なためメンテナンスが容易。オーダー寸法サイズに対応。容器の中で完結するため、浸漬させる液体の無駄が極微量。

大気圧プラズマ装置と組み合わせて照射精度向上！PC制御でプログラムも自在。

当社大気圧プラズマ装置と組み合わせ可能。線状サンプルの連続処理に最適。処理部にご所望のプロセスを設置可能。任意の寸法サイズに対応可能。任意の速度で巻き取り可能。