プラズマ耐久性のテスト
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- 真空
- 高周波電源
- プロセスガス導入可能
- 塗装・メッキ
- 接着・密着
- 培養・歯科医療
- 洗浄・殺菌
- エッチング
- 薄膜形成
- 撥水
- プラズマ耐久性のテスト
- 実験用
- 生産用
プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM
SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。
プラズマエッチャー加熱機構付 CPE-200AHM
SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。
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- 撥水
- プラズマ耐久性のテスト
- 撥油・防汚(技術確立中)
- 親油(技術確立中)
- 実験用
- 生産用
プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ
PTFE(テフロン)の親水化。各種素材の撥水処理。ガラス膜の形成。など
プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ
PTFE(テフロン)の親水化。各種素材の撥水処理。ガラス膜の形成。など
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プラズマエッチャー CPEシリーズ
SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。
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SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。
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- 真空
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- 生産用
撥水コーター CFC-550
固体ソースを用いた撥水処理。表面に樹脂の薄膜を形成。環境への負荷を低減。その他の樹脂にも応用可能。
撥水コーター CFC-550
固体ソースを用いた撥水処理。表面に樹脂の薄膜を形成。環境への負荷を低減。その他の樹脂にも応用可能。
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プラズマエッチャー CPE-Bシリーズ
テフロン表面の親水化や不織布の撥水化など。
プラズマエッチャー CPE-Bシリーズ
テフロン表面の親水化や不織布の撥水化など。