生産用

誘電体バリア放電を用いたダイレクトプラズマにより 2 枚のフィルムを同時に処理し、直後に熱圧着処理が可能な装置。

SiO2やSiのエッチングや有機物のアッシングを、加熱することで高速・高効率に。

大気圧プラズマ装置と組み合わせて照射精度向上！PC制御でプログラムも自在。

白色光を照射し、反射した光を3色センサーで測定。小型でコストパフォーマンスの高い計測器。

無線でパソコンにデータ送信。任意の値でアラートも出せます。小型でコストパフォーマンスの高い計測器。

RGBセンサーでモニター。ビューポートに設置するだけ。パソコンと接続でき、操作が容易。記録可能。

プラズマ照射前後の色相を測定し、その色差を表示。色データは最大100個まで保存可能。測定モードとメモリ番号を選択、測定ボタンを押すだけの簡単操作。白色LEDとRGBカラーセンサを使用。

プラズマの効果を目視で簡単に測定可能。プラズマチェッカーにプラズマを照射するだけの簡単な使用方法。基材が金属製のため高温環境下でも使用可能。お客様の御要望次第で膜厚や素材の変更も可能。

PTFE(テフロン)の親水化。各種素材の撥水処理。ガラス膜の形成。など

SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。