大気圧(リモート)

金属微粒子コンタミが発生しない新構造の大気圧プラズマ装置。

300mm四方への均一処理を実現します。熱によるダメージは殆んどありません。コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。あらゆるガスをプラズマ化。ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。

より低温かつ、低流量での大気圧プラズマ処理が可能！表面改質：大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成！

ハンディタイプで扱いが容易です。表面処理　薄膜形成前の処理　陽極接合前の処理　塗装前の処理　その他　バイオ・医療分野にも。

プラズマを多数の柔軟な極細チューブで導き、複雑形状への処理を実現。連続処理が可能。対象に合わせたトーチの切替え。凹凸面、隅部に追従。大きな凹凸や複雑な形状に対応。

大気圧環境下でチューブ内壁を洗浄・表面改質。連続処理が可能。対象に合わせたトーチの切替え。フッ素樹脂チューブも親水化。脱気・毛細管現象の効率向上に。繊維・ワイヤーなどの表面改質にも。

多点バリア放電方式を採用した唯一の製品。スリットタイプ幅広100mmの大気圧プラズマ装置。パワー調整やガス流量調整機構が付き。緻密な処理が実現。

大気圧環境下で電荷のダメージがないプラズマを安定に生成!。絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能です！熱によるダメージはほとんどありません。窒素をプラズマ化。大面積処理へも改良可能。メンテナンスも容易。ワイヤーボンディング : 強度の向上に最適!。バイオ・医療分野にも。

熱によるダメージは殆どありません！

粉体にガスを供給することで液体のように流動性を上げる（流動床、流動層）。技術を応用しました。