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業界初、高機能プラズマ専用電源 小型真空プラズマ装置用交流高圧電源PKM-VP20新発売 電力モニタリングも可

プラズマ装置を開発販売する株式会社魁半導体（京都府京都市下京区、代表取締役　田口貢士）は、業界で初めてとなる周波数帯域～数百kHzの小型真空プラズマ装置用交流高圧電源「PKM-VP20」（写真）を開発、6月12日に発売します。一般的なプラズマ装置に搭載することで、装置が高効率化し処理効果が向上します。電力データをPLC（※１）で受信・処理し、PCでモニタリングすることができます。この専用電源は当社のプラズマ装置にも順次搭載します。

 

■プラズマ処理を高効率化、処理効果を向上

小型真空プラズマ装置用交流高圧電源「PKM-VP20」は、プラズマ装置専用のインバータ式電源ユニットです。マイコン制御により周波数を動的に制御することで、プラズマ点火時の高電圧低電流モードと定常時の低電圧大電流モードの自動切替が可能。ソフトスイッチング技術（※2）を採用することで80%以上の高効率と低発熱を実現、比較的高い周波数を用いているためプラズマ処理効果も向上します。

一次側の電圧・電流を通信端子で出力することができるので両者の積を計算することで電力のモニタリングが可能です。また作業環境にも配慮し、点火失敗時は自動でシャットダウンモードに移行する安全設計です。

 

 

■業界初の周波数帯域～数百kHzの専用電源

プラズマ装置に使用する電源は一般的なネオン管用電源をベースにカスタマイズされたものを使用したり、商用周波数のままトランスで電圧のみを昇圧したりすることが多く、専用に開発した100 kHz程度の周波数で駆動する電源は本ユニットが業界初となります。

プラズマ技術の用途は半導体や医療、バイオほか幅広い業界に広がっており、より高い処理効果や制御を求める声も増加していることから、電源の機能でも処理効果の向上を実現しました。

また近年のDX化が進む生産現場にも対応、ソフトウエアで電力をモニタリングし、データ管理する機能も搭載しました。

小型真空プラズマ装置用交流高圧電源「PKM-VP20」は、当社プラズマ装置にも順次搭載を計画しており、先ずは主力の卓上真空プラズマ装置「YHS-R」、「NMR-Gts」の2機種に搭載します。

■サプライチェーン対策

最近の世界的なサプライチェーン問題は当社でも影響が大きくプラズマ装置の様々な部品の調達が遅れていました。さらに、ネオン管からLEDへの急速な置き換えにより、ネオン管用電源の部品を流用することの多かった電源も入手が困難となっています。

中でも当社では搭載していた汎用電源の大幅な遅れによる機会損失もあり、電源ユニット内製化に向けての開発を急ぎました。

当社は創業以来プラズマ技術を専業としており、高度な専門技術力を駆使することで、サプライチェーン対策を兼ね、更に高機能で安全性の高い当社独自の専用電源の開発を実現しました。

 

■製品概要

[製品名称] 小型真空プラズマ装置用交流高圧電源「PKM-VP20」

[特徴]

・真空グロー放電に最適な電圧-電流特性をもつ回路方式を採用

・ソフトスイッチング技術により80%以上（実測値）の高効率、低発熱

・マイコン制御により、点火時の高電圧低電流モードと定常時の低電圧大電流モードを自動で切替

・点火失敗時は自動でシャットダウンモードに移行する安全設計

・通信端子より電圧・電流（一次側）モニター可能　（オプション：モニタリング用ソフトウエア）

・樹脂モールドトランスの使用により高い絶縁性

[価　格]　108,000円（税込）　

[発売日]　2024年6月12日

 

[主な仕様] （標準仕様。カスタマイズ可能）

型　式

小型真空プラズマ装置用交流高圧電源「PKM-VP20」

入力

DC24V

最大出力

1000Vop, 100mAop, 20W（実測値）

出力周波数

80k～100kHz

外形寸法（基板サイズ）

d:50mm×w:100mm×h:55mm（ｈ：支柱スペーサと実装部品含む）

オプション

電圧・電流データ　モニタリング用 専用ソフトウエア

紹介ページ　https://sakigakes.co.jp/products/pkm-vp20/

（※１）PLC（Programmable Logic Controller）製造業の設備や機器をコントロールする制御装置。

（※2）ソフトスイッチング技術は、半導体スイッチ素子を「ソフト に」スイッチングする技術であり，スイッチ素子のターン オンやターンオフによって発生する電力損失や高周波ノイズを抑制する効果がある。

 

【本件のお問合せ先】　株式会社　魁半導体　https://sakigakes.co.jp/

TEL：075-204-9589　／　FAX：050-3488-5883　／ E-mail：s.sales@sakigakes.co.jp

京都府京都市下京区西七条御前田町50番地　SAKIGAKEビル