• 真空
  • 高周波電源
  • プロセスガス導入可能
  • 塗装・メッキ
  • 接着・密着
  • 培養・歯科医療
  • 洗浄・殺菌
  • エッチング
  • 薄膜形成
  • 撥水
  • プラズマ耐久性のテスト
  • 撥油・防汚(技術確立中)
  • 親油(技術確立中)
  • 実験用

プラズマエッチャー CPE-Bシリーズ

テフロン表面の新スイカや不織布の撥水化など。

用途

■PTFE(テフロン)の親水化(要NH3)
■各種素材の撥水処理(要CF4)
■シリコン膜(基板)のエッチング処理(要CF4)
■ガラス膜(基板)の形成(要バブラー)
■細胞培養容器への処理〈特徴〉
■制御条件を全てマニュアル操作仕様
→プラズマ装置の扱いに慣れた研究者には打って付け!
■生産現場での製造工程に組み込み可能
→既存の設備と合わせての使用が可能となる為、コストや時間、製造効率もUP
■シンプルで導入コストを抑えた価格帯
→企業努力により低価格化した製品販売を実現

型式 CPE-100Bの仕様

外形寸法 392mm(W)×500mm(D)×1050mm(H)(突起含まず。上蓋閉時)
ステージ寸法 直径100mm
処理圧力調整 手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整
真空計 アナログ表示ピラニ真空計
ガス系統 1系統
電源 単相100V,15A(50Hz/60Hz)型式 CPE-400B
外形寸法 850mm(W)×900mm(D)×1050mm(H)(突起含まず。上蓋閉時)
ステージ寸法 直径400mm
処理圧力調整 手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整
真空計 アナログ表示ピラニ真空計
ガス系統 1系統
電源 単相100V,30A(50Hz/60Hz)

型式 CPE-1000Bの仕様

外形寸法 1600mm(W)×1600mm(D)×1100mm(H)(突起含まず。上蓋閉時)
ステージ寸法 直径1000mm
処理圧力調整 手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整
真空計 アナログ表示ピラニ真空計
ガス系統 1系統
電源 単相200V,30A(50Hz/60Hz)
※真空ポンプは別売です。また、別途、仕様変更も承っております。