- 真空
- 高周波電源
- プロセスガス導入可能
- 塗装・メッキ
- 接着・密着
- 培養・歯科医療
- 洗浄・殺菌
- エッチング
- 薄膜形成
- 撥水
- プラズマ耐久性のテスト
- 撥油・防汚(技術確立中)
- 親油(技術確立中)
- 実験用
- 生産用
プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ
PTFE(テフロン)の親水化。各種素材の撥水処理。ガラス膜の形成。など
製品概要
■プラズマ装置CPEシリーズにお手頃価格のセミオートシリーズが新登場!
■マニュアル操作に加え、タッチパネルによる簡単操作ができるほか、
レシピを事前に登録しておくことで、ボタンを押すだけのセミオート運転が可能
■φ300mmの大面積(サイズ変更も承ります)
仕様
装置名称 セミオート・プラズマ装置
型式 CPE-300S
外形寸法 680mm(W)×785mm(D)×1020mm(H)
放電部寸法 直径300mm(円形)
重量 160kg
出力調整 あり
ガス系統 １系統(２系統はオプション)
ガス制御方法 マスフローコントローラー
圧力調整 バルブ
電源 AC100V,30A(50Hz/60Hz)