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ペン型大気圧プラズマ装置 P500-SM

絶縁物上の金属を破壊せずに処理が可能です!

製品概要

表面改質:大気圧環境下において、電荷のダメージがないプラズマを安定に生成!
ワイヤーボンディング:強度の向上に最適です!
その他:バイオ・医療分野にも

製品の特徴

■熱によるダメージは殆んどありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。
(条件によってはサンプル表面を40℃程度に。)
■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。■推奨ガスは窒素のみ。
■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。
■ラボ用装置としてもご利用頂けます。
■微細な表面処理に特化
■メンテナンスも容易です。  

設定台と組み合わせ

【ペン型架台】
トーチを設置台に取り付ける作業が可能■サイズ
高さ600mm×アーム長さ200mm■重量
2kg■価格
¥8,800-(税別)

用途

■ワイヤーボンディングの前処理
LSIにダメージを与えることなく、電極の表面を洗浄しボンディング性能を向上
■ガラス基板洗浄
光学ガラスや電子デバイス製作用の基板に付着した有機物の洗浄
■金属薄膜への処理
絶縁体上の金属薄膜へもダメージ無く親水化(コロナ放電では不可能)

仕様

品名・P500-SM
■プラズマペン
材質(本体):樹脂、石英、金属(場合によってことなります)
耐圧(Mpa):0.39
重量 (g):約700
外形寸法 (突起部含まず) (mm)・ 約φ28×約130
■コントロール部
重量 (Kg):約3
寸法 (mm):160(W)×245(D)×110(H)
機能・オプションにてタイマー:流量計等を対応
■取り扱い注意
許容温度範囲:-10℃~+60℃
使用禁止薬液:有機溶媒 強塩基類 強酸類 強酸化材
使用ガス:窒素