製品概要
■ 生産用の大気圧プラズマ装置
■ 処理時の微小コンタミ（不純物）をほぼ0に
仕様
| 入力 | AC100V(50/60Hz) | |||
| 寸法 | トーチ部寸法： 90mm(W)×100mm(D)×24mm(H)(突起部除く） トーチ噴射開口寸法： 50mm(W)×1mm(H) トーチケーブル長：約2m（コントロール部からトーチ部への高電圧,ガス供給） コントロール部寸法 320mm(W)×350mm(D)×150mm(H) |
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| 有効処理幅 | 40mm | |||
| 処理圧力 | 1気圧 = 100kPa 程度 | |||
| 処理温度 | 室温程度 | |||
| 重量 | 約7kg | |||
| 使用ガス | 純度 99.99%以上の窒素ガス | |||
| ガス接続サイズ | 1/4インチチューブ | |||
| ガス供給量 | 50～70L/min (推奨流量：60L/min) 流量表示調整機能あり | |||
| ガス接続圧力 | 0.5MPa 以下 （ガス供給装置で調整） | |||