Tổng quan về plasma
Plasma là trạng thái thứ tư của vật chất
Plasma là trạng thái mà các electron bị bật ra khỏi quỹ đạo – gọi là ion hóa. Phân tử (nguyên tử) bị mất electron trở nên không ổn định và sẽ tìm cách ổn định lại bằng cách thu nhận electron khác, v.v.
Plasma là trạng thái vật chất có độ phản ứng cao! Tính phản ứng này được ứng dụng vào nhiều công nghệ khác nhau như cải thiện bề mặt, làm sạch, v.v.
Sơ đồ mô tả các trạng thái của vật chất
Plasma
Plasma
Trạng thái có độ phản ứng cực kỳ cao
Các phân tử và nguyên tử trong trạng thái plasma có độ phản ứng cao có thể gây ra những phản ứng hóa học đặc biệt mà trạng thái thông thường không có. Các quá trình như cải thiện bề mặt, loại bỏ chất hữu cơ, khắc (etching) và tạo màng mỏng đều ứng dụng hiện tượng này.
Hiệu quả của xử lý plasma được giới thiệu trong trang “Nguyên lý cải thiện và làm sạch bề mặt”.
-
Chất rắn (băng)
Các phân tử liên kết chặt chẽ với nhau. Chất rắn ổn định, có hình dạng và thể tích cố định.
-
Chất lỏng (nước)
Các phân tử liên kết và tách rời trong trạng thái linh hoạt. Chúng vẫn chịu ảnh hưởng lẫn nhau, nhưng có đủ năng lượng để chuyển động.
-
Chất khí (hơi nước)
Các nguyên tử, phân tử chuyển động tự do. Chúng di chuyển nhanh và cách xa nhau.