• 真空
  • 高周波電源
  • プロセスガス導入可能
  • 塗装・メッキ
  • 接着・密着
  • 培養・歯科医療
  • 洗浄・殺菌
  • エッチング
  • 薄膜形成
  • 撥水
  • プラズマ耐久性のテスト
  • 撥油・防汚(技術確立中)
  • 親油(技術確立中)
  • 実験用
  • 生産用

プラズマエッチャー CPEシリーズ

SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。

製品概要

■コンパクト
■簡単な操作性
■タッチパネル操作(オート、マニュアル)
■高精度で無機物のエッチングが可能

仕様

装置名称 プラズマエッチャー
型式 CPE-200A
外形寸法 510mm(W)×760mm(D)×1090mm(H)
放電部寸法 直径200mm(円形)
重量
出力調整 あり
ガス系統 1系統(2系統はオプション)
ガス制御方法 マスフローコントローラー
圧力調整 バルブ
電源 電源 AC100V,15A(50Hz/60Hz)