面状タイプSKIp-CBL300
     

世界で唯一の面状大気圧プラズマ装置!!
表面処理・洗浄 接着前処理 密着強化 塗装前の処理 各種洗浄  その他 バイオ・医療分野にも

製品の特徴
     
 

■300mm四方への均一処理を実現します。
→面状にプラズマを生成するので、バッチ処理を可能とします。

■熱によるダメージは殆んどありません。
→熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。

■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。
→処理対象物へ電荷のダメージを与えません。

■あらゆるガスをプラズマ化。
ArやHeなどの希ガスはもちろん、窒素でも空気でも容易にプラズマ化します。

オプション

■供給ガス系の複数化
■1軸ロボット X-Yロボット R to R■タッチパネル制御

■コーター(スプレー・ディップ・スリット)、および、乾燥工程の追加

その他のご要望にもお応え致します。

仕様
品名 SKIp-CBL300 
電極プロセス  ~□300mm
プロセス圧力  大気圧 
 POWER 0~3kW  
推奨ガス  アルゴン
※他のガスでも放電はします。
 ガス流量計 最大1000L/min 
ガス流量制御機構  浮子式orMFC 
電源  AC200V