プラズマエッチャーCPE-200

■コンパクト
■簡単な操作性
■タッチパネル操作(オート、マニュアル)
■高精度で無機物のエッチングが可能
SiO2やSiのエッチングなど
半導体集積回路などの微細回路を作製
装置名称 プラズマエッチャー
型式 CPE-200
外形寸法 510mm(W)×760mm(D)×1090mm(H)
放電部寸法 直径200mm(円形)
重量
電源出力 最大300W
出力調整 あり
ガス系統 1系統(2系統はオプション)
ガス制御方法 マスフローコントローラー
圧力調整 バルブ
電源 電源 AC100V,15A(50Hz/60Hz)