小型回転式真空プラズマ装置MUG-80

真空チャンバー内に回転式の撹拌機構を導入
乾式で全面一括処理
グロー放電中で撹拌し、高い均一性を確保
回転式のためチップ等小部品を裏返す手間が不要
粉体や小部品のエッチング・薄膜形成・撥水化・酸化還元
装置名称 小型回転式真空プラズマ装置
型式 MUG-80
外形寸法 400mm(W)×353mm(D)×340mm(H)
重量 30kg
回転部 φ80×42mm(D)
電源出力 170W
出力調整
ガス系統 オプション
ガス制御方法 オプション
圧力調整 オプション
電源 100V,15A(50Hz/60Hz)