真空プラズマ(表面改質)

真空プラズマ(表面改質)装置はチャンバー内にプラズマを均一に生成し、処理ムラが少なく、
バッチ式で一括してドライ洗浄や表面改質を行う事ができます。
現在、半導体や電子部品・医療用途まで幅広い分野で使われています。

卓上タイプ:YHS-R
卓上真空プラズマ装置【YHS-R】
ラボ用途に最適な卓上タイプ真空プラズマ装置です。
ワンタッチフルオート機能、及び、オートリーク機能を搭載。
取扱いが非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。
A4サイズ用:YHS-A4
A4サイズ用【YHS-A4】
YHS-Rの大型版。φ400のチャンバーで
大きなサンプルの処理が可能となります。
※ステージサイズはご要望に合わせてお作り致します。
ガス導入タイプ:YHS-G
  ガス導入タイプ【YHS-G】
様々なガス導入が可能な真空プラズマ装置。
ラボ用途に最適な卓上タイプ真空プラズマ装置です。
ガス流量調整・パワー調整・真空度モニター
取扱いが非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。
ガス導入タイプ:YHS-G(φ400)
ガス導入タイプ【YHS-G(φ400)】
様々なガス導入が可能な真空プラズマ装置。
ガス流量調整・パワー調整・真空度モニター
緻密な処理条件の設定が可能です。
小型真空プラズマ装置NMR-Gts
小型真空プラズマ装置NMR-Gts

板状、繊維状、フィルム状の対象物の表面改質・クリーニングに

卓上撥水化装置YHS-Ω
卓上撥水化装置YHS-Ω

素材の撥水化
布や紙の防水、防汚、湿気対策
電子部品等の防水など

プラズマエッチャーCPE-200
プラズマエッチャーCPE-200

SiO2やSiのエッチングなど
半導体集積回路などの微細回路を作製

セミオート・プラズマ装置CPE-300S
セミオート・プラズマ装置CPE-300S

PTFE(テフロン)の親水化
各種素材の撥水処理
ガラス膜の形成 など

大容量真空プラズマ装置YHS-MS
大容量真空プラズマ装置YHS-MS

PP/PCなどの樹脂成形型の接着強化
ウエハーの洗浄・接着強化
電線チューブなどのコーティング力を強化
有機物の除去